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AIR SHOWER (에어샤워)

클린룸 입구에 설치하며, 강력한 바람과 집진을 통하여 사람 또는
물품 이동 시 유입될 수 있는 이물질을 제거하여 클린룸 내부의
청정도를 유지하는 유닛.

PASS BOX (패스박스)

클린룸으로 외부 물품 이동 시 발생되는 이물질을 최소화 하기위한
장비로 클린룸 벽체에 부착되는 유닛.

HFU (Hepa Filter Unit) / BFU (Blower Filter Unit)

고성능 먼지 집진 필터 (HEPA FILTER)를 통해 클린룸 내부로 공급되는
공기중의 미세 오염물질을 제거하여 청정도를 유지하는 유닛.

FFU (Fan Filter Unit)

주로 고청정을 요구하는 클린룸 또는 생산라인에 설치되는 유닛으로
HEPA 또는 ULPA FILTER를 내장하여 강력한 이물질 제거를 통해
클린룸 내부로 급기하는 유닛.

RELIEF DAMPER (릴리프댐퍼)

클린룸 내부의 차압을 제어해 일정한 정압을 유지시키며,
기류 방향 제어를 통해 실내 오염공기의 역류를 방지하는 유닛.